在多晶硅生產過程中，由于多晶硅行業的尾氣粉塵具有顆粒細、高溫、高硬度、耐磨的特點，所以使用效果較好的是材質采用316L的材料。如果過濾器選擇不當，過濾器會堵塞或硅粉過濾不完全，影響下游工藝設備，嚴重影響系統的穩定運行。濾芯由316L金屬粉末燒結制成。這種結構的硅粉過濾器可以抗腐蝕和高溫環境。

       它具有以下特點:(1)過濾精度高，粉塵顆粒細小(0.3μm以下的顆粒)；(2)過濾效率高，0.3μm的顆粒過濾效率可達99.9%。 (3)濾芯孔隙率高，壓降小，易反沖洗，強度高，能承受高反沖洗壓力。(4)強度高、耐腐蝕、耐高壓、耐火性好、使用壽命長，更適合腐蝕性、高粉塵硬度、磨蝕性的工況；(5)耐高溫、抗熱震。不銹鋼設備和濾芯的耐溫性可達560℃；(6)能承受交變載荷，抗沖擊載荷和疲勞強度高。